वैक्यूम वाल्व सटीक सीलिंग और ड्राइव कंट्रोल के माध्यम से एक वैक्यूम वातावरण में द्रव विनियमन के लिए एक महत्वपूर्ण उपकरण है। इसके काम करने वाले तंत्र को निम्नलिखित कोर मॉड्यूल में विभाजित किया जा सकता है:
1। कोर वर्किंग मैकेनिज्म
Sealing विभाजन
ऑल-मेटल बेलोज़ डायनेमिक सील (पारंपरिक पैकिंग के बजाय) को अपनाते हुए, धौंकनी का विस्तार और अनुबंध होता है जब वाल्व स्टेम वैक्यूम चैम्बर की एयरटाइटनेस को बनाए रखने के लिए आगे बढ़ता है, और रिसाव दर 1 × 10⁻⁻ pa · m¯/s के बराबर या बराबर होती है।
जब गेट बंद हो जाता है, तो यह मिरर-पॉलिश वाल्व सीट (0.2μm से कम या बराबर) के साथ एक आणविक फिट बनाता है, और संपर्क सीलिंग प्रभाव को बढ़ाने के लिए कॉपर मिश्र धातु सीलिंग रिंग के साथ सहयोग करता है।
Drive control
Manual प्रकार: कीड़ा गियर ट्रांसमिशन, धौंकनी को हैंडव्हील को घुमाकर ऊपर और नीचे संचालित किया जाता है, और टोक़ 15n · m4 से कम या बराबर होता है।
Electric Type: स्टेपर मोटर ड्राइव, 0.01 मिमी की स्थिति सटीकता, अर्धचालक वेफर ट्रांसमिशन सिस्टम के लिए उपयुक्त।
Pneumatic Type: संपीड़ित हवा सिलेंडर पिस्टन को ड्राइव करती है, प्रतिक्रिया समय है<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
।
वाल्व बॉडी एक KF16 सहायक वायु निष्कर्षण पोर्ट से सुसज्जित है। खोलने और बंद करने से पहले, एयरफ्लो की गड़बड़ी को रोकने के लिए वाल्व गुहा और सिस्टम (δP ＜ 10PA) के बीच दबाव अंतर को संतुलित करने के लिए एक स्वतंत्र वैक्यूम पंप का उपयोग किया जाता है।
2। विशिष्ट कार्य मोड
| तरीका | प्रचालन प्रक्रिया | आवेदन |
|---|---|---|
| संलग्न | गेट पूरी तरह से एक डबल सील बनाने के लिए वाल्व सीट को दबाता है (बेलोज़ + संपर्क सतह) | कण त्वरक बीम ट्यूब अलगाव |
| प्रवाह विनियमन | वाल्व प्लेट खोलने को 10%-90%पर नियंत्रित किया जाता है, और रैखिक प्रवाह नियंत्रण वी-आकार के थ्रॉटलिंग ग्रूव के माध्यम से प्राप्त किया जाता है | वैक्यूम कोटिंग प्रक्रिया के लिए गैस इंजेक्शन |
| त्वरित कटौती | वायवीय एक्ट्यूएटर आपातकालीन शटडाउन प्रक्रिया को ट्रिगर करता है, 0.3 के बराबर या बराबर प्रतिक्रिया समय | परमाणु संलयन उपकरण रिसाव आपातकाल |
| दबाव में रखरखाव | वैक्यूम गेज के साथ जुड़ा हुआ, सेट वैक्यूम डिग्री (± 0.5pa) को बनाए रखने के लिए वाल्व खोलना स्वचालित रूप से ठीक-ठाक है। | अंतरिक्ष वातावरण अनुकरण कक्ष |
3। सामग्री और प्रक्रिया विशेषताओं
Valve Body: 316L अल्ट्रा-लो कार्बन स्टेनलेस स्टील इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग, गैस सोखना सतह क्षेत्र को 60% से अधिक कम करना
Sealing घटक: Hastelloy C-276 धौंकनी (100,000 थकान चक्रों के लिए प्रतिरोधी) + ऑक्सीजन मुक्त तांबा सीलिंग रिंग (विकर्स हार्डनेस HV80)
Surface Treatment: सीलिंग सरफेस आयन स्पटरिंग टाइटेनियम प्लेटिंग (मोटाई 2μM), घर्षण गुणांक 0.08 तक कम हो गया।
4। आवेदन परिदृश्य तुलना
| मैदान | वाल्व प्रकार | वैक्यूम आवश्यकताएँ | विशेष जरूरतों |
|---|---|---|---|
| अर्धचालक विनिर्माण | विद्युत उच्च वैक्यूम वाल्व | 1 × 10⁻⁷ पीए से कम या बराबर | 150 डिग्री बेकिंग, शून्य कण रिलीज के लिए प्रतिरोधी |
| अंतरिक्ष यान -परीक्षण परीक्षण | वायवीय त्वरित समापन वाल्व | 1 × 10⁻⁵ पीए से कम या बराबर | कंपन प्रतिरोध (20-2000Hz) |
| सिंक्रोट्रॉन विकिरण स्रोत | तरल-कूल्ड गेट वाल्व | 1 × 10⁻⁹ पीए से कम या बराबर | तरल नाइट्रोजन कूलिंग जैकेट (-196 डिग्री) |
| परमाणु संलयन युक्ति | विकिरण प्रतिरोधी अलगाव वाल्व | 1 × 10⁻⁴ पीए से कम या बराबर | न्यूट्रॉन विकिरण प्रतिरोध (10⁹ n/cm of) |
5। प्रदर्शन सीमा पैरामीटर
तापमान रेंज: -269 डिग्री (लिक्विड हीलियम कूलिंग प्रकार) से 450 डिग्री (उच्च तापमान मिश्र धातु प्रकार)
व्यास रेंज: माइक्रो वाल्व at6 मिमी से बड़े वैक्यूम चैम्बर वाल्व φ1200 मिमी
लाइफ इंडेक्स: 50,000 से अधिक या बराबर सील असेंबली को 50,000 से अधिक या समापन चक्रों के बराबर