वैक्यूम गेट वाल्व एक विशेष गेट वाल्व है जिसका उपयोग विशेष रूप से वैक्यूम या नकारात्मक दबाव प्रणालियों में किया जाता है। इसका मुख्य डिजाइन अल्ट्रा-हाई सीलिंग और कम आउटगासिंग दर के आसपास घूमता है। कार्य सिद्धांत और विशेषताएं इस प्रकार हैं:
1। कोर परिभाषा
Functional positioning
इसका उपयोग अल्ट्रा-हाई स्वच्छ वातावरण में वैक्यूम डिग्री के साथ 1 × 10⁻⁶ पीए से कम या बराबर है, ताकि बाहरी गैस को वैक्यूम गुहा से बाहर निकालने और दूषित करने से बाहरी गैस को मर्मज्ञ या आंतरिक सामग्री से रोका जा सके।
Sealing Standard
रिसाव दर को कड़ाई से 1 × 10⁻ pa · m im/s (हीलियम लीक डिटेक्शन स्टैंडर्ड) से कम या बराबर नियंत्रित किया जाता है, जो साधारण औद्योगिक वाल्वों की तुलना में कहीं अधिक है।
2। प्रमुख संरचनात्मक विशेषताएं
sealing system
वाल्व स्टेम आंदोलन के कारण होने वाले माइक्रो-लीकेज को खत्म करने के लिए ऑल-मेटल बेलोज़ डायनेमिक सील (पारंपरिक स्टफिंग बॉक्स को बदलें) को अपनाएं।
गेट और वाल्व सीट के बीच संपर्क सतह मिरर पॉलिश (आरए से कम या 0.2μm से कम या बराबर) है, और आणविक-स्तरीय बॉन्डिंग को प्राप्त करने के लिए सोने-कॉपर मिश्र धातु सीलिंग रिंग का उपयोग किया जाता है।
Material चयन
वाल्व शरीर 316L अल्ट्रा-लो कार्बन स्टेनलेस स्टील से बना है, और सतह क्षेत्र इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग (गैस सोखना को कम करने) द्वारा कम किया जाता है।
धौंकनी हेस्टेलॉय C-276 से बना है और 100,000 वैक्यूम-वायुमंडलीय दबाव वैकल्पिक भार से अधिक या उससे अधिक का सामना कर सकता है।
ख़ास डिज़ाइन
वाल्व गुहा एक सहायक निकास पोर्ट (KF16 निकला हुआ किनारा इंटरफ़ेस) से सुसज्जित है, जो खोलने और बंद करने से पहले दबाव अंतर को पूर्व-विकसित करने और संतुलित करने के लिए है।
कम तापमान प्रकार एक तरल नाइट्रोजन कूलिंग जैकेट से सुसज्जित है ताकि उच्च तापमान को सीलिंग सामग्री को अपवित्र करने से रोका जा सके।
3। कामकाजी मोड
Opening प्रक्रिया
सबसे पहले सहायक वैक्यूम पंप को वैक्यूम के वैक्यूम को सिस्टम के समान स्तर तक खाली करने के लिए (एयरफ्लो गड़बड़ी को रोकने के लिए) शुरू करें।
धौंकनी गेट को लंबवत रूप से बढ़ने के लिए प्रेरित करती है, और प्रवाह चालकता गुणांक 0.95 से अधिक या उसके बराबर है जब प्रवाह चैनल पूरी तरह से खुला होता है।
Closing प्रक्रिया
जब गेट गिरता है, तो सीमा स्विच स्वचालित रूप से ट्रिगर हो जाता है, और यह सुनिश्चित करने के लिए द्वितीयक निकास शुरू हो जाता है कि वाल्व गुहा में अवशिष्ट गैस समाप्त हो गई है।
संपर्क सीलिंग सतह सिस्टम के नकारात्मक दबाव के तहत एक आत्म-कड़ाही प्रभाव पैदा करती है। अधिक से अधिक दबाव अंतर होगा, सील तंग।
4। विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्य
Scientific अनुसंधान उपकरण
कण त्वरक वैक्यूम बीम पाइपलाइनों के खंडित अलगाव (जैसे कि परमाणु अनुसंधान एलएचसी के लिए यूरोपीय संगठन)। सिंक्रोट्रॉन विकिरण स्रोत के लिए undulator वैक्यूम सुरक्षा वाल्व।
Industrial उपकरण
सेमीकंडक्टर एल्ड कोटिंग मशीन के लिए प्रतिक्रिया कक्ष इंजेक्शन नियंत्रण।
अंतरिक्ष यान थर्मल वैक्यूम परीक्षण कक्ष के लिए आपातकालीन अलगाव वाल्व।
Special field
परमाणु संलयन उपकरण की पहली दीवार शीतलन प्रणाली का वैक्यूम अलगाव (जैसे कि ITER)।
चंद्र धूल सिमुलेशन चैंबर की नमूना स्थानांतरण चैनल सीलिंग।
5। प्रदर्शन संकेतक
Temperature Range: -196 डिग्री (तरल नाइट्रोजन कूलिंग) 450 डिग्री (उच्च तापमान बेकिंग प्रकार) से।
Diameter रेंज: DN10 माइक्रो वाल्व को DN800 बड़े वैक्यूम लॉक चैंबर।
Operation Mode: मैनुअल वर्म गियर ड्राइव, वायवीय तेजी से उद्घाटन (प्रतिक्रिया समय)<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6। रखरखाव अंक
हर 1000 संचालन के बाद हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री लीक डिटेक्शन की आवश्यकता होती है, और यदि रिसाव दर मानक से अधिक हो जाती है तो बेलोज़ असेंबली को प्रतिस्थापित करने की आवश्यकता होती है।
सतह खत्म को पुनर्स्थापित करने के लिए संपर्क सीलिंग सतह को हर 5 साल में फिर से पॉलिश करने की आवश्यकता होती है।
सफाई के लिए एसीटोन और अन्य कार्बनिक पदार्थों का उपयोग करना मना है। प्लाज्मा ड्राई क्लीनिंग की सिफारिश की जाती है।